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{MEMS夾具}一種低損耗射頻MEMS器件測試夾具設(shè)計研究MEMS夾具的應(yīng)用射頻MEMS開關(guān)以及以開關(guān)為基礎(chǔ)的射頻MEMS器件是應(yīng)用于5G通信中的重要組成部分.隨著通信技術(shù)的發(fā)展,多種類射頻MEMS器件得到廣泛應(yīng)用,定期對生產(chǎn)批次射頻MEMS器件進行篩選和檢測成為關(guān)鍵.目前射頻MEMS器件性能的快速無損檢測,依舊是行業(yè)內(nèi)沒有很好解決的難題.以銅制彈片為媒介,針對表面貼裝式集成封裝射頻器件,設(shè)計高性能,高精度,快速無損傷測試夾具.通過對測試夾具進行多次仿真和實驗,證實測試夾具測試射頻器件頻率可達2 GHz并且測試夾具本身損耗很低.MEMS夾具
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